Контроль технологических процессов

  • Register

+7 (499) 322 06 62

Контроль технологических процессов

Во многих промышленных сферах существует потребность в измерении концентраций определенных газов на уровне остаточного следа. Удовлетворение данной потребности может быть нацелено на поддержание высокоэффективного производства или на постоянное повышение качества продукции и итоговых результатов работы. Также исследование концентрации газов можно использовать для мониторинга участков скопления опасных газов, например моноксида углерода (CO), хлорида углерода (HCl) и фторида углерода (HF), являющихся нежелательными побочными продуктами производства или возникающих в результате утечки производственных материалов. Например, на этапе предварительной сборки полупроводников из окружающего атмосферного воздуха нужно извлекать аммиак, поскольку он может отрицательно воздействовать на результаты литографии даже на уровне существенно меньше части на миллион. Химические реагенты, например HCl and HF, используемые в процессе производства некоторых деталей, могут вызвать проблемы с техникой безопасности и повредить дорогостоящую литографическую оптику. HF является очень токсичным и коррозийным химическим реагентом, который широко используется в некоторых более современных отраслях промышленности, например, при плавке алюминия или в производстве изделий из стекла, когда его нужно извлекать из окружающего атмосферного воздуха в целях сохранения здоровья работников.

Анализаторы LGR остаточных следов газа являются первоочередным выбором при мониторинге описанных выше производственных процессов, а также для производителей газоочистителей, ультрачистого воздуха и других продуктов газа. Благодаря уникальной и запатентованной технологии OA-ICOS анализаторы LGR обеспечивают идеальное сочетание компактного размера, низкого потребления энергии, высокой скорости (секунды), высокой чувствительности (части на триллион NO2), высокой абсолютной точности, высокой надежности и автоматической работы, которые востребованы во многих областях применения. Также, в отличие от других оптических технологий, на работу анализаторов не оказывают отрицательного перекрестного влияния вода или другие вещества, что исключает необходимость обработки или просушивания образцов. В дополнение анализаторы LGR идеально подходят для применения даже в условиях вредной промышленности и требуют быстрого обслуживания в полевых условиях исключительно в редких случаях. В отличие от более ранних технологий, например CRDS, анализаторы LGR более чувствительны к загрязнению окружающей среды, что исключает их техническое обслуживание в полевых условиях, поскольку это может вызвать проблемы с точностью/функциональностью.